Vaporizzatore MSP Turbo II(tm) - Next Generation

Vaporizzatore compatto con doppia produzione rispetto alla serie precedente, offre più opzioni di processo ed una migliore vaporizzazione dei precursori liquidi

MSP, una delle divisioni di TSI, offre una linea completa di strumenti per la vaporizzazione di precursori liquidi nei processi che necessitano di una fase gassosa come la deposizione chimica in fase vapore (CVD) e la deposizione di strati atomici (ALD), utilizzati nella fabbricazione di dispositivi semiconduttori e nelle applicazioni di coating industriali. I vaporizzatori MSP Turbo II, utilizzano una tecnica di vaporizzazione a gocce, definita “iniezione diretta di liquido (DLI)”, progettata per soddisfare le più moderne ed esigenti esigenze di vaporizzazione.

Questa tecnologia brevettata di MSP, offre un'ampia gamma di vantaggi rispetto alle tecniche più datate e convenzionali. Il vaporizzatore T2 combina la tecnologia avanzata della scienza dell'aerosol con la termodinamica per creare una soluzione più raffinata nella vaporizzazione, ottenuta a temperature inferiori alla media e senza contatto liquido-metallo per non deteriorare il precursore. Si produce vapore on demand con ampia consistenza e soprattutto a pressione costante, niente picchi di pressione in processo.


Applicazioni Università e centri di ricerca
Produttore MSP Corp.
Categorie Misure di portata

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